제목

[BK][11/21] ULSI Cu Interconnects: Co(W) Single-Layer Liner–Barrier via ALD/CVD and Selective Co Capping via ASD

작성일

2025.11.13

작성자

전기전자공학부

게시글 내용

BK21 글로벌 융합기술 미래인재 교육연구단 김형준 교수님께서 아래와 같이 초청세미나를 개최하오니, 많은 참석 부탁드립니다.

◎ 일시 : 2025.11.21. (금) 16:00

◎ 장소 : 연세대학교 제4공학관 D402호

◎ 제목 : ULSI Cu Interconnects: Co(W) Single-Layer Liner–Barrier via ALD/CVD and Selective Co Capping via ASD

◎ 연사 :  Prof. Yukihiro SHIMOGAKI / University of Tokyo

◎ 초청 : 전기전자공학과  김형준 교수