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윤일구/김형준 교수 연구팀 IEEE Sensors Journal 논문 게재
작성일
2023.05.26
작성자
전기전자공학부
게시글 내용


윤일구/김형준교수 공동연구팀은 Optical Emission Spectroscopy를 활용하여 플라즈마 공정 장비 진단 및 가상 측정 모델링 방법론을 제안하였다. 이 연구 결과는 상용화 반도체 플라즈마 공정 장비 진단에 활용가능한 방법론으로 인정되어 IEEE Sensors Journal (IF = 4.325, JCI percentile = 82.24%) 에 게재되었고, 표지논문으로 선정되어 그 우수성을 인정받았다.
본 연구는 연세대학교 전기전자공학부 반도체공학연구실 (지도교수 : 윤일구) 의 김동연 연구원 (공동 1저자)과 나노소자연구실 (지도교수 : 김형준) 나승규 연구원 (공동 1저자) 이 주도적으로 연구를 진행하였다.

첨부
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